一、炉体材料:
炉丝:Φ8~Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。
绝缘子:采用99瓷制作,碳化硅管用高脚,石英管用矮脚。
保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。
外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。
热偶座:进口弹簧卡状固定座。
把口环:陶瓷纤维把口环,既保温,又有一定机械强度。
二、炉体参数:
工作温度: ≤1300℃
恒温区长度: 500mm-1000mm
炉体内径: Φ90~Φ360 mm(3~12英寸)
规范使用: 寿命可达20个月以上(1200℃)
替代进口: 全方位配套
三、应用:
青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO,荷兰ASM,英国BTU等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,可应用于处理3~12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。